Китайская литография вышла в серию: новые машины уже получили заказы на серийные поставки
Компания Shanghai Xinshang Microassembly вывела на коммерческий рынок собственную литографическую установку AST6200. Аппарат прошел полный цикл технологической проверки у крупного китайского производителя полупроводников и уже получил заказы на серийные поставки.
У ASML появился новый конкурент
Литографическая машина AST6200 предназначена не для производства современных кремниевых процессоров, а для выпуска компонентов на основе карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия, фосфида индия и других соединительных полупроводников.
Изображение Grok
ASML разогнала продажи литографов и добивается повышения цен на EUV-оборудование
Такие технологии востребованы в электромобилях, сетях 5G и оптоэлектронике. Установка поддерживает пластины диаметром от 2 до 8 дюймов и различные типы подложек, включая кремний, карбид кремния, сапфир и арсенид галлия.
Система оснащена собственной проекционной оптикой, высокоточной системой совмещения слоев, регулируемой подсветкой и автоматической фокусировкой. Дополнительные модули позволяют работать со сложными подложками и выполнять фронтальное и обратное совмещение. Производитель также полностью самостоятельно разработал программную систему управления станком — от драйверов оборудования до управления технологическими процессами.
Первая установка AST6200 завершила заводские испытания еще в ноябре 2025 года. Теперь после успешной валидации у крупного производителя установка перешла к серийному производству.