Получены пленки нитрида алюминия высокого качества

НОВОСИБИРСК, 12 февраля. /ТАСС/. Ученые Новосибирского государственного университета получили пленки нитрида алюминия высокого качества. В будущем они могут использоваться для систем связи 5G, сообщили ТАСС в пресс-службе вуза.

"Научные сотрудники Новосибирского государственного университета оптимизировали параметры процесса магнетронного распыления для получения пленок нитрида алюминия с наилучшими характеристиками. Результаты данной комплексной исследовательской работы показали, что полученные пленки нитрида алюминия благодаря своим свойствам и характеристикам найдут широкое применение в сфере систем передачи информации и мобильной связи в формате 5G", - рассказали в вузе.

В пресс-службе ТАСС пояснили, что полученные пленки используются в резонаторах для систем связи. "Более высокие частоты, на которых могут работать резонаторы с пленками AlN, как раз и дают высокую скорость передачи данных. Естественно, в резонаторах могут использоваться только пленки самого высокого качества. Такого качества мы смогли достичь", - приводит пресс-служба слова разработчиков.

Ученые получили пленки на специальной установке магнетронного распыления - это технология нанесения тонких пленок на подложку. Ученые определили набор приемлемых параметров (температура подложки, давление, потоки газов). "Мы показали почти идеальную текстуру кристаллитов пленок, требуемую для применений в резонаторах. Выяснилось, что кристаллиты выстраиваются в ориентированные столбики не сразу от подложки, а после формирования тонкого (около 20 нм) подслоя", - цитирует пресс-служба одного из авторов исследования Владимира Шаяпова.

Ученые работают над созданием прототипов многослойных резонаторов. Кроме этого, они планируют модифицировать свою установку для получения пленок. После модификации у них появится возможность исследовать сразу несколько вариантов резонаторов с различными металлическими слоями.